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    無(wú)塵潔凈室技術(shù)應用

    發(fā)表時(shí)間: 2020-06-29

      無(wú)塵潔凈室技術(shù)應用。

      無(wú)塵潔凈室的氣流速度/換氣次數,一直是潔凈室設計中受到關(guān)注的題目,跟著(zhù)潔凈室污染源的控制效果增加及末級過(guò)濾器效率的進(jìn)步等,對有關(guān)規范、導則等提 出的推薦或參考值是否偏于守舊,已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等題目已在實(shí)踐中得到解決,跟著(zhù)FFU的精益求精,對是否采用 FFU回風(fēng)?#21040;y也是個(gè)熱門(mén):懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC產(chǎn)業(yè)中已日益提到日程上來(lái),受到關(guān)注。

    凈化工程

     

      無(wú)塵潔凈室內一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等詳細情況而異,它不僅受室內發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響,就產(chǎn)業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:

      (1)室內污染源:建筑物組件、職員?#30340;?#21450;操縱流動(dòng)、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒開(kāi)釋源,根據詳細情況而異,變化很大;

      (2)室內氣流流型及分布?#31777;(jiǎn)蜗?#27969;要求平均、同等的流線(xiàn),但會(huì )受到工藝設備布置和位置變動(dòng)及職員流動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非?#34583;?#27969;要求充混合,避免死角及溫度分層。以下對這些題目的情況分別作歸納和分析。


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